
微細部品/極小部品など高精度な精密部品をご提供します。
フォトエッチング加工とは、化学薬品などの腐食作用を応用した表面加工の技法です。まず、金属などの素材に写真製版プロセスを用いて、必要なパターンに耐食膜を形成させます。その後、腐食剤によって不要部分を除去することで目的形状のものを得るという化学的な精密加工技術です。
製造プロセス
STEP1. 原版作成
支給データをもとに原版(高精度フォトマスクの製造)を作成します。CADデータまたは図面をお送りください。(データ形式:DXF、DWG、PDF、TIF、JPG等)
STEP2. 表面処理
材料表面に付着している油脂や汚れを取り去ります。また、レジスト液(感光剤)が材料によく密着するよう、化学処理を施します。
STEP3. 感光液塗布
材料の両面にレジスト液(感光剤)をコーティングします。
STEP4. 焼付け
材料を露光機にて真空装着させ、紫外線(UV)を照射します。
STEP5. 現像
照射されたパターン部のレジストを除去することでマスキングが完成されます。
STEP6. フォトエッチング
マスキングされた材料に対し、エッチング液を吹付けます。現像工程で露出された部分だけがエッチングされ、パターン通りの形状に仕上がります。
STEP7. 剥離
エッチング後に付着しているレジスト膜を剥離します。
STEP8. 出荷検査
寸法、および最終外観検査を行い製品を出荷します。

フォトエッチング加工のメリット
ミクロンの複雑微細な形状パターンが可能
腐食性のある素材であれば、様々な素材の塑形・表面加工に応用可能
バリ・歪み・加工硬化を与えず、高精度の加工が可能
短納期での製造・出荷ができるため、試作品に最適
複数同時加工できるため、量産品にも適している
プレス加工などの高価な治具は不要なため、イニシャルコストの削減が可能
加工素材一覧
ステンレス鋼 | SUS 301 / SUS 304 / SUS 316 / SUS 430 / SUS 631 |
ニッケル合金 | ニッケル / パーマロイ / 36% Ni / 42% Ni |
銅・各種銅合金 | 銅 / 真鍮 / リン青銅 / 洋白 / ベリリウム銅 |
その他(特殊材) | チタン / 鉄 / インコネル / モリブデン / タングステン etc. |
※その他材料につきましては、ご相談ください。
標準スペック
(1)加工板厚
0.005t~1.0t
(2)寸法公差
一般的には板厚の±10~15%が標準になります。また試作及び小ロット生産の場合はより高精度な対応も可能ですので、あらかじめご相談ください。
(3)コーナーR

コーナーRエッチングでは、外角及び内角がR形状となります。
RI内角は板厚の50%、RO:外角は板厚の80%となります。
(4)断面形状

エッチング加工では素材を化学的に腐食するため、断面形状はテーパー状(サイドエッチ)となります。
(5)ブリッチ
エッチング加工では、基本的にブリッチ(つなぎ)をもうけます。ブリッチの位置、形状につきましては、あらかじめご指定ください。
ブリッチなし(ノンブリッチ)加工にも対応しています。
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東京ミクロはフォトエッチング加工による精密部品の各種加工、試作から量産まで対応しています。
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